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材料分析

切片+顯微觀察（光學顯微鏡OM、掃描電鏡SEM、透射電鏡TEM）

材料力學/電學/熱學/化學性能分析

表面微區分析

異物/污染分析

成分分析

材料老化及可靠性分析

 

【表面材料分析手段】：

 

AES 俄歇電子能譜儀應用

FT-IR 傅立葉紅外顯微鏡應用

 

SEM/EDS 掃描電子顯微鏡/X射線能譜儀應用

 

TEM 透射電鏡（定點/非定點制樣及上機觀察）

 

XPS X射線光電子能譜儀應用

Micro Raman Spectroscopy  顯微拉曼光譜分析

 

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